懸浮轉子式微機械陀螺儀的研究進展

介紹了一種不同于振動式微機械陀螺儀的新型微機電系統(tǒng)陀螺-懸浮轉子式微機械陀螺儀,并就國內(nèi)外關于磁懸浮轉子微陀螺和靜電懸浮轉子微陀螺研究的各種結構及其工作原理、工藝和性能特點進行了概述,以展示這一新穎微陀螺的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢.

作 者： 崔峰 陳文元 蘇宇鋒 吳校生 CUI Feng CHEN Wen-yuan SU Yu-feng WU Xiao-sheng   作者單位： 上海交通大學,微納米科學技術研究院,微米/納米加工技術國家級重點實驗室,上海,200030  刊 名： 壓電與聲光  ISTIC PKU 英文刊名： PIEZOELECTRICS & ACOUSTOOPTICS  年，卷(期)： 2005 27(3)  分類號： V241.5  關鍵詞： 微機電系統(tǒng)   微機械陀螺   磁懸浮   靜電懸浮   轉子  

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